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トレンチこうぞう【トレンチ構造】
項目
トレンチこうぞう【トレンチ構造】
意味
〔trench structure〕DRAM(ディーラム)で,電荷を蓄えておくための形状の一。シリコン-ウエハーの表面に穴を掘り,そこに電極を形成する構造。→スタック構造