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スタックこうぞう【スタック構造】
項目
スタックこうぞう【スタック構造】
意味
〔stuck structure〕DRAM(ディーラム)で,電荷を蓄えておくための形状の一。電極をシリコンウエハーの上部に積み上げる構造。→トレンチ構造