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一般用語集

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シラン【silane】

項目 シラン【silane】
意味 水素化ケイ素の総称。一般式 SinH2n+2 普通は,モノシラン SiH4をさす。これは,無色刺激臭の気体で半導体用ケイ素の製造原料となる。