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い

イオンちゅうにゅう【イオン注入】

項目 イオンちゅうにゅう【イオン注入】
意味 〔ion implantation〕半導体に不純物を添加する方法の一。不純物をイオン化してビームにし，電気的に制御しながら目的の半導体に注入するので，正確に添加量やその分布を変えることができる。現在の IC 生産技術の中核の一。